超純水簡要介紹
2026年06月04日 09:02:41
來源：北京中科新遠環境工程有限公司 >> 進入該公司展臺
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純度的水質，集成電路工業當中用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等方面。此外，其他固態電子原器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等材料的制作也都要使用超純水。超純水主要是指下列雜質含量極低的水：1、無機電離雜質,如 Ca、Mg、Na、K、Fe、Fe等；2、顆粒,如塵埃、氧化鐵、鋁、膠體硅等；3、微生物,如細菌、浮游生物和藻類等;4、有機物,如烷基苯磺酸、油、有機鐵、有機鋁以及其他碳氫化合物等；5、溶解氣體, 如N2、O2、CO2、H2S等元素。超純水中電離雜質的含量用水的電阻率數值來確定與衡量。在理論上來說，純水中只包含有H離子和OH離子元素參加導電。在25℃時超純水的電阻率為 18.3(兆歐·厘米)，一般約為15～18（兆歐·厘米）。 超純水中有機物含量由測定有機物碳含量而定，電子工業超純水中規定含量為50～200微克／升,并要求直徑大于1微米的顆粒性物質每1毫升內含量為1～2個，微生物每1毫升為0～10個。現在一般采用預處理、電滲析、紫外線殺菌、反滲透、離子交換、超濾和各種膜過濾技術等工藝，使其超純水的電阻率在25℃時達到18(兆歐·厘米)。
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