SSD型號,HDC?AC高頻交流,自帶DC24V內置電源,不用外置高壓盒,機臺內嵌**,分普通型、吹氣型、超潔凈型。
1.全系列型號:
標準型(無吹氣):CABX?300HW、CABX?400HW、CABX?600HW、CABX?800HW、CABX?1000HW、CABX?1200HW、CABX?1500HW
吹氣型(除靜電+除塵,半導體爆款):CABX?GL?600HW、CABX?GL?800HW、CABX?GL?1000HW、CABX?GL?1600HW(接CDA/氮氣)
超潔凈版(晶圓FAB):CABX?UC系列,硅針/玻璃針,零重金屬析出,Class1?100潔凈室專用
2.核心參數:
放電方式:HDC?AC高頻交流(SSD**),離子平衡長期穩定
離子平衡:±10V以內(300mm距離)
除電速度:10kV→100V≤1s@150mm
供電:DC24V內置電源,無需外接高壓控制器
特色:清潔計時提醒、LED臟污報警、可更換噴嘴、免維護周期長30%
臭氧:<0.04ppm,無塵室合規
3.SSD離子風機適用場景:
晶圓切割、固晶機、探針臺、FOUP晶圓盒、載板、半導體模組、設備內嵌狹小空間
二、離子風機系列(局部定點除靜電)
1.BF?X2ZB?V2(高頻AC,半導體通用)
離子平衡:±10V以內
低臭氧、風量可調、異常報警、可接PLC
用于晶圓盒、治具、桌面檢測工位
2.BF?X2DD?V2(直流DC,超低臭氧)
臭氧<0.007ppm,超潔凈區專用
自帶清掃功能,減少維護
3.BF?X12MA(條型大風量)
長條形吊頂式,大面積潔凈室除靜電
半導體車間頂部安裝
三、離子風槍系列(手持精密清潔)
AGZⅢ/ZAPP?III(半導體爆款)
高頻交流、內置壓電變壓器、無高壓線纜、**防爆
重量僅200g,手持輕便
用途:芯片、光學鏡頭、治具、晶圓精細除塵除靜電
四、靜電檢測儀器(半導體產線校準)
STATIRONDP靜電衰減測試儀
測量除電速度、離子平衡、表面電位
振動斬波法,高精度,用于離子棒/風機性能校驗、ESD合規檢測
五、半導體專用耗材
放電針:鎢針、硅針、玻璃針(超潔凈)
吹氣噴嘴(大/小流量可換)
高壓接頭、O型圈、絕緣件
風機濾芯、清潔毛刷